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半导体废水处理

半导体废水处理

废水类型:半导体废水处理 

项目示例:上海某电子厂半导体废水项目 

废水来源:本项目废水来源自生产厂房(S2B)和中央动力厂房(CUB8)。废水的主要来源 如下:  

在工艺生产设备生产和清洗过程中产生的各种废水,废酸;  

酸\碱洗涤塔排水;  

化学品间排水;  

生产设备就地洗涤塔的排水;  

UPW站房的排水

 

工艺设计要求:

半导体废水处理案例

HF 废水及氨氮废水处理流程:

半导体废水处理

酸碱废水处理流程

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废硫酸处理流程

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